本设备适用于高精密双面研磨、抛光加工场景,可满足硬脆材料、光学材料、陶瓷、晶圆及精密零部件等产品对平面度、平行度和表面质量的加工要求。
以下参数用于产品选型与技术沟通参考,具体配置可根据客户加工材料、工艺目标及现场需求进行定制。
| 项目 | 内容 | 参数值 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 机床参数 | 外形尺寸 | 2300×1900×2900(不含电柜地脚) | mm |
| 上下盘尺寸 I-抛光 | Φ1492×Φ452×60(不锈钢) | mm | |
| 上下盘尺寸 II-研磨 | Φ1456×Φ488×60(球墨铸铁开槽盘) | mm | |
| 最大抛光直径 / 厚度 | Φ480 / 45 | mm | |
| 加工压力范围 | 150~9000(可拓展 12000) | N | |
| 游星轮参数 | Z184 / PCD552 | mm | |
| 游星轮数量 | 5 | 个 | |
| 齿圈参数 | 公制 M3 | mm | |
| 电源及总功率 | AC380 / 36 | V / kW | |
| 整机重量 | 约 9000 | Kg | |
| 下定盘驱动方式 | 15kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 上盘驱动方式 | 11kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 外齿圈驱动方式 | 5.5kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 中心轮驱动方式 | 2.2kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 精度参数 | 游星轮正反转 | 有(软件合成计算) | |
| 主承载方式 | 高精度交叉滚子轴承 | ||
| 下定盘转速 | 0~60(变频调速) | rpm | |
| 上盘转速 | 0~25(变频调速) | rpm | |
| 外齿圈转速 | 0~30(变频调速) | rpm | |
| 太阳轮速度 | 0~30(变频调速)可正反转 | rpm | |
| 下盘跳动 | ≤0.03 | mm | |
| 下盘平面度 | ≤0.02(可修盘) | mm | |
| 外齿圈跳动 | ≤0.35 | mm | |
| 中心齿跳动 | ≤0.15 | mm | |
| 压力控制精度 | ±20 | N | |
| 选配参数 | 厚度测量范围(选配) | 0~25 | mm |
| 厚度测量精度(选配) | ±0.01 | mm |