本设备适用于高精密双面研磨、抛光加工场景,可满足硬脆材料、光学材料、陶瓷、晶圆及精密零部件等产品对平面度、平行度和表面质量的加工要求。
以下参数用于产品选型与技术沟通参考,具体配置可根据客户加工材料、工艺目标及现场需求进行定制。
| 项目 | 内容 | 参数值 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 机床参数 | 总占地面积 | 1860×1450×2650(含主副气缸) | mm |
| 上下盘尺寸 I | Φ1154×Φ364×50(410 不锈钢) | mm | |
| 上下盘尺寸 II | Φ1154×Φ364×50(球墨铸铁) | mm | |
| 最大抛光直径 | Φ390 | mm | |
| 游星轮参数 | 节圆 Φ423.34 / 模数 DP12 | mm | |
| 游星轮数量 | 5 | 个 | |
| 模数(英制) | DP12 | ||
| 电源及总功率 | AC380 / 20 | V / kW | |
| 整机重量 | 约 7000 | Kg | |
| 上盘驱动方式 | 7.5kW 精密涡轮蜗杆 | ||
| 下盘驱动方式 | 7.5kW 精密涡轮蜗杆 | ||
| 太阳轮驱动方式 | 1.5kW 精密涡轮蜗杆 | ||
| 外齿圈驱动方式 | 2.2kW 精密涡轮蜗杆 | ||
| 游星轮正反转 | 有(软件控制) | ||
| 精度参数 | 主承载方式 | P5 级交叉滚子轴承 | |
| 上盘转速 | 0~20(变频调速) | rpm | |
| 下盘转速 | 0~50(变频调速) | rpm | |
| 太阳轮转速 | 0~22(变频调速) | rpm | |
| 外齿轮转速 | 0~16(变频调速) | rpm | |
| 下盘跳动 | ≤0.4 | mm | |
| 下盘平面度 | ≤0.015(可现场修盘) | mm | |
| 外齿圈柱销跳动 | ≤0.35 | mm | |
| 中心轮柱销跳动 | ≤0.2 | mm | |
| 内外齿圈同心度 | ≤0.4 | mm | |
| 压力控制精度 | ±10 | N | |
| 选配参数 | 测厚仪控制精度(选配) | ±2 | um |