EN
本设备适用于高精密双面研磨、抛光加工场景，可满足硬脆材料、光学材料、陶瓷、晶圆及精密零部件等产品对平面度、平行度和表面质量的加工要求。
以下参数用于产品选型与技术沟通参考，具体配置可根据客户加工材料、工艺目标及现场需求进行定制。
| 项目 | 内容 | 参数值 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 机床参数 | 外形尺寸 | 1830×1350×2610（含主副气缸） | mm |
| 上下盘尺寸 I | Φ933×Φ350×50（抛光 410 盘） | mm | |
| 上下盘尺寸 II | Φ933×Φ350/50（研磨环快开槽盘） | mm | |
| 最大抛光直径 | Φ210 | mm | |
| 压力范围 | 120~300（可调两层） | N | |
| 游星轮参数 | Z147 | mm | |
| 游星轮数量 | 6 | 个 | |
| 齿圈参数 | DP12 | mm | |
| 电源及总功率 | AC380 / 18 | V / kW | |
| 整机重量 | 约 4300 | Kg | |
| 下定盘驱动方式 | 7.5kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 上盘驱动方式 | 5.5kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 外齿圈驱动方式 | 1.5kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 中心轮驱动方式 | 1.5kW 蜗轮蜗杆减速机 | ||
| 精度参数 | 游星轮正反转 | 有（软件合成控制） | |
| 主承载方式 | 高精度交叉滚子轴承 | ||
| 下定盘转速 | 0~45（变频调速） | rpm | |
| 上盘转速 | 0~15（变频调速） | rpm | |
| 外齿圈转速 | 0~22（变频调速） | rpm | |
| 太阳轮速度 | 0~25（变频调速） | rpm | |
| 下盘跳动 | ≤0.04 | mm | |
| 下盘平面度 | ≤0.015（可修盘） | mm | |
| 外齿圈跳动 | ≤0.30 | mm | |
| 中心齿跳动 | ≤0.15 | mm | |
| 压力控制精度 | ±10 | N | |
| 选配参数 | 厚度测量范围（选配） | 0~25 | mm |
| 厚度测量精度（选配） | ±2 | um |
